防静电车间如何设计装修
微电子无尘车间设计中往往会因为静电引起事故发生,因此在微电子无尘车间的设计装修上,防静电能力已经成为评价其质量的一个重要方面。微电子无尘车间静电事故的产生主要在于静电的产生和积累。下面以CEIDI西递建设过的防静电车间为例,给大家讲一下防静电车间如何设计装修。

2.作业环境建设
1、工程内的使用物品,比如作业台、作业椅等采取的基本对策是连接地线,保证静电的释放路径的正确性。在工厂内有带电可能性场所的使用表面阻率为104~109Ω·m之间的材料,而且要注意与静电对策用接地线相连接起来。
3.设置防静电区域
1、依据防静电要求设置防静电区域,并标示明显的防静电警示标志,按作业区所使用的器件的静电敏感程度分为3个等级,等级不同,制定的帛镢宜嗣防护措施也不同。1级静电敏感程度范围:1-1999V;2级静电敏感程度范围:2000V-3999V;3级静电敏感程度范围:4000V-15999V;16000V以上是非静电敏感产品。静电安全区(点)的室温为20~26℃,相对湿度是45~70%RH。禁止在低于30%的环境内操作SSD(静电敏感源器件);
2、静电敏感源器件(SSD)运输、存储、使用要求:SSD运输过程中不能掉落在地上,不能任意脱离、拆开包装;存放SSD的库房相对湿度:30~40鬈熵痼霄%RH;SSD存放过程中保持原包装,若需更换包装,要使用具有防静电性能的容器;装配、焊接、修版、调试等操作人员都必须严格按照静电防护要求进行操作。